二手 CMS UTR 65 #9250624 待售

CMS UTR 65是一种机器人掩模和晶片检测设备，设计用于提供高分辨率的原位成像和对掩模和晶片基板的检测。这是利用专有的扫描电子显微镜（SEM）平台完成的。该系统配备了9轴定位机构，可对焦点和倾斜进行精确微调，并能够扫描各种面罩和晶片。此外,设备还配备了高分辨率摄像头,使用户能够在各种照明条件下进行分析和检查,同时提供样品的不间断视图。UTR 65集成了高性能、自动化的光束扫描机，提供了对掩模基板上特征的精确定位。利用光束自动扫描和测量功能，用户可以快速分析和检查面罩上的特征，以确保准确性。使用集成摄像头,用户可以轻松地将预期功能与实际功能进行比较,并可以在将掩码移至下一个进程之前识别错误。为了最大限度地提高检测结果的准确性和可靠性，CMS UTR 65集成了激光辅助自动对焦功能。这一技术先进的功能提供了自动聚焦功能,使工具在扫描每个掩码时能够快速实现最佳聚焦。激光辅助聚焦还确保被测量的实际特征被精确聚焦，并呈现出最可靠和可重复的结果。UTR 65设计方便操作使用。资产不仅提供直观的图形用户界面和可定制的显示,而且还包括用于自动处理的内置作业队列。此优化的工作流程允许用户快速分析和检查单个作业队列中的多种类型的掩码。通过作业队列,模型可以存储所有掩码信息,包括制造、放置和零件编号,以便于召回。综上所述，CMS UTR 65是一种能够提供高分辨率成像和可靠检验结果的自动掩模和晶圆检测设备。该系统旨在简化掩码和晶圆工作流程,同时提供易于使用的图形用户界面和自动作业处理功能。利用集成的激光辅助对焦，UTR 65每次都能保证最佳对焦和精度，产生准确、可重复的检测结果。