二手 CORNING / TROPEL Flatmaster #9227960 待售
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ID: 9227960
Wafer measurement system
Type: 128892-4280 WIN
Includes:
Main body
Computer body
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Vacuum pump
(6) Chucks
Power requirement: 380 V, 2 Phase, 1 kW.
CORNING/TROPEL Flatmaster是一种在半导体制造过程中提供口罩和晶片高速非接触式光学检查的口罩和晶片检测设备。该系统先进的光学和成像技术即使在1微米特征大小的水平上也能实现晶圆特征检测,从而实现高精度、可靠和可重复的结果。该设备具有高速扫描功能,能够快速检测缺陷。TROPEL Flatmaster结合了一系列先进的功能和技术,可以快速准确地进行检查。机器的核心是包含微透镜、动态模式识别（DPR）和集成芯片ID技术的4通道检测头。这种4通道的方法允许对每个芯片50-150个缺陷进行多级检查和同时测量。该工具还具有计算机控制的变焦和自动对焦功能，以最大限度地提高精度。最先进的浸入式光头使资产能够检查晶圆上的困难区域，即使是常规机械技术也难以进入。该模型还具有用于自动气候控制的集成环境室。稳定的环境使图像中的噪声信号最小化，并允许根据需要通过激光和机械校准获得一致的结果。该设备还采用开放式体系结构进行设计，以便集成多个供应商提供的自动晶圆处理系统。CORNING Flatmaster旨在提供高分辨率和可重复结果,同时满足快速周转要求。系统可以扫描100-1700毫米晶圆，并将长达25毫米的范围穿透到掩模中检测缺陷。该单元易于使用,输出可用作自动缺陷分类器、CAD集成扫描仪或进一步分析的输入。Flatmaster是一种用于半导体制造行业的可靠、精确的掩模和晶圆检测机.
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