二手 CYBEROPTICS Cobra #173485 待售

CYBEROPTICS眼镜蛇是为半导体制造应用而设计的掩模和晶圆检测设备。它为详细的计量、成像和胶片测量提供了高吞吐量和精确度的组合。利用最新技术，眼镜蛇能够进行选择性区域照明和激光驱动成像，使其能够进行高分辨率成像、薄膜厚度测量和模模迭加测量，精度和可靠性都很高。对于成像应用，CYBEROPTICS Cobra配备了2048 × 2048像素成像阵列，具有标准的26倍光学放大倍率。该系统包括一个电动运动阶段，允许成像单元在x轴、y轴和晶圆周围移动。此外，眼镜蛇还支持多种照明技术，如激光驱动成像、暗场和亮场拓扑图像捕获。对于计量应用，CYBEROPTICS眼镜蛇配备了高分辨率位移传感器和多种自校准测量软件，以精确测量迭加、线宽、线缘粗糙度和临界尺寸变化。此外,该机器还支持用于比色测量的带通和多渠道光学滤波器,以及高级表面等离子体共振（SPR）分析,以提供额外的表面分析功能。对于胶片测量应用，眼镜蛇配备了用于胶片厚度测量的光学反射计。该工具可以使用集成在资产中的光谱仪精确测量来自晶圆表面的反射。这允许对薄膜类型、薄膜厚度和层覆盖率进行高通量测量,以及自动进行薄膜测量和平坦度/粗糙度表征。总体而言，CYBEROPTICS眼镜蛇提供了一个全面和集成的模型，用于掩模和晶圆的检查和表征。该设备具有高分辨率成像、精密计量能力和精确的薄膜测量,是任何半导体制造工艺的宝贵补充。此外，先进的软件和电动运动阶段允许高吞吐量和高效晶圆检查，使眼镜蛇成为半导体制造商的绝佳选择。