二手 CYBEROPTICS LSM 300 #9008344 待售
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CYBEROPTICS LSM 300是一种自动化的掩模和晶圆检查设备,旨在帮助半导体制造商快速检测其产品上的缺陷。该系统提供了一个完整的解决方桉,可以快速高效地识别和分析基板上的特征,包括掩模、晶片和引线框架。该单元允许使用激光干涉和光学计量进行全面的自动检查。为了确保在整个检查过程中收集到正确的信息,LSM 300采用了独特的图像处理算法。该算法识别掩模中的规则重复结构,并补偿基板引入的不准确性。该算法还有效地识别出否则无法检测到的低调特征。CYBEROPTICS LSM 300提供了对每个掩模和晶圆的全面检查。这台机器能够容纳各种尺寸可达450毫米的基板。此外,紫外线和可见光源用于检查基板的顶部和底部表面。此外,该机与广泛的基板兼容,包括石英、硅和金属基板。LSM 300还具有可靠高效的摄像头工具,可提供高分辨率成像和精确测量。此资产能够以每秒600帧的速度捕获和记录图像。相机型号配备了五种不同的滤镜,使其能够捕捉到各种颜色和大小的光。这样就可以对弱光特性进行精确成像。CYBEROPTICS LSM 300专为满足制造商最苛刻的要求而设计,能够分析复杂的缺陷,否则这些缺陷将被忽略。它可以检测和区分表面和地下缺陷以及斜面、凹坑和突出特征。此外,设备还配备了自动对焦功能,使操作员可以在基板上的任何位置聚焦。综上所述,LSM 300是一种先进的掩模和晶圆检测系统,旨在发现和分析基板上的缺陷。该装置拥有一台强大的照相机,能够进行高分辨率的成像和精确的测量。它还使用独特的图像处理算法来识别掩码中的规则重复结构并补偿任何不准确之处。通过使用CYBEROPTICS LSM 300,制造商可以快速检测缺陷并确保产品质量。
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