二手 DEXON CLL 6436 #108363 待售
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DEXON CLL 6436是为半导体工业设计的掩模晶圆检测设备。它提供高分辨率的成像和灵活的工作流能力,以便快速准确地检测各种晶圆和掩模基板上的缺陷。该系统配备了健壮的64通道线性激光(CLL)光源,提供激光输出强度的动态调制以及成像和激光检测模式之间的快速切换。这样可以确保最佳的样品照明,以实现最高质量的成像和激光诱导的缺陷检测,以满足最具挑战性的过程控制要求。CLL 6436还配备了高灵敏度、定焦科学级电荷耦合器件(CCD)成像单元。它采用2/3英寸彩色渐进CCD阵列,可提供高达1 um像素大小的高分辨率成像。该相机能够同时捕捉图像质量信息和快速获取快速晶片分析任务所需的数据。该机器的设计能够对所有表面拓扑进行全面检查,使缺陷、空隙、粒子和其他故障得以快速识别,进一步简化了真空滤波器。它的5轴电动XY级工具可以快速、准确地扫描蒙版,以实现有效的快门时间和蒙版对准。其强大的软件支持各种配方构建功能和数据导出功能。独特的DEXON Analytical Toolkit包括彩色像素阈值和图像过滤,它提供自动图像分析功能,可以删除所有不必要的细节、背景和噪音,同时保留图像中感兴趣的特征。总体而言,DEXON CLL 6436是一种创新的掩模和晶圆检查资产,设计用于最具挑战性的检查任务。高分辨率成像能力和智能软件使其成为检测和解释各种掩模和晶片基板缺陷的理想模型。
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