二手 DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini #127986 待售
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ID: 127986
Zoom interferometer
Specifications:
Bare fiber holder chuck with X/Y/Z and tilt micrometers
Radius of curvature:
Reproducibility: 1 sigma: 0.25%
Repeatability: 1 sigma: 0.10%
Apex offset:
Reproducibility: 1 sigma: 2.0µm
Repeatability: 1 sigma: 0.5µm
Fiber height:
Reproducibility: 1 sigma: 1.5 nm
Repeatability: 1 sigma: 1.0 nm
Radius of curvature: 3mm Flat
Apex offset:
0-500µm (value calculated if outside of captured frame)
Fiber height: ± 6µm (with extended range option)
MICHELSON Interferometer (non-contact system)
Measurement Speed: less than 1 second
Magnification:
X85 to X550 using 12" monitor
X60 to X400 using a 15" XGA monitor and the digital zoom turned off
Operating wavelengths: 665nm (545nm with extended range)
Power requirements: 100 to 120V AC, 50 / 60Hz.
DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini是用于半导体制造的精密光学掩模和晶圆检测设备。该系统采用最先进的技术构建,旨在通过分析所检查的掩模或晶片的形状和拓扑来提供高度精确的测量。高灵敏度设备采用了最新的光学技术,具有独特的漂移稳定照明设备,可确保最大的图像质量和准确性。投影线型由刀具的双通道线检测方法解决，确保了设备轮廓的极精确测量。该设备具有低噪声成像和数字边缘增强功能，可以方便地检测到人工制品和其他缺陷。在光学设计方面，该模型利用安装在可旋转平台上的双柱物镜，提供了广泛的放大倍数。两列透镜的组合使设备能够高精度地检查微结构设备表面地形，并为检测低对比度缺陷提供必要的精度。此外，该系统采用双场成像对准方法，对被检查的设备进行快速准确的定心。ZX-1 Mini单元旨在提供可重复的结果,使其成为Vertex在易于使用、准确性和可重复测量方面最可靠的机器。其直观的用户界面可以方便操作，灵活的软件包可以实现自动化操作和测量。该工具可搭配多种口罩使用，包括铬、碳、石英、不锈钢和银。此外，该资产与许多晶圆兼容，包括硅和砷化氙等。该型号也是紧凑和轻巧，使其高度便携式和理想的在任何实验室或在公司地板上使用。总体而言，DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini是一种可靠的掩模和晶圆检测设备，提供卓越的精度、灵敏度和可重复性。其高性能光学和先进的软件使其成为半导体行业的宝贵工具。
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