二手 DNS / DAINIPPON STM-602 #293608962 待售
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DNS/DAINIPPON STM-602掩模和晶片检测设备是检测光掩模和晶片缺陷的功能齐全的仪器。它利用先进的数字成像技术来检查有图样的图像,包括预制的蒙版和光刻曝光的晶片。该系统旨在提供高速、准确和可重复性。它具有多种自动化功能,例如自动聚焦和对齐功能,使其适合高吞吐量检查过程。DNS STM-602是生产和研发业务的理想选择。该单元采用31.3厘米X 31.3厘米(12.3英寸X 12.3英寸)检测台,能够处理各种基材和工艺。它还提供了十二(12)个可调、无静电的接地针脚,以实现各种掩模和晶圆尺寸及形状的最佳接触和对准。机器的光学变焦范围从0.6X到10X不等,便于使用成像或聚焦光学器件检查不同区域。其中包括一个电动转盘,允许操作员调整放大倍率以检查困难区域。DAINIPPON STM-602 Mask&Wafer Inspection Tool具有先进的光学资产,可同时使用明场和暗场成像。亮场成像提供了最佳的检测灵敏度和检查一致性,而暗场则是小缺陷检测的理想选择。该模型还采用激光扫描显微镜(LSM)技术进行表面检查。该技术允许对样品表面进行精确和可重复的成像。它用激光照射样品区域,在目标材料上创建运动光束轮廓,揭示样品的各种物理和化学性质。该设备包括一个自动晶片分析工具,用于检查晶片顶部和底部表面的缺陷。软件计算高精度对齐和缺陷检测的迭加和焦移值。最后,STM-602 Mask&Wafer检查系统提供支持和维护服务,使用户能够最大限度地提高设备的性能和可靠性。这些服务包括技术咨询、预防性维护、校准和机器升级以及国际保修。
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