二手 ECOPIA HMS-5000 #9248771 待售

ECOPIA HMS-5000是一种新一代的掩模和晶片检测设备,其设计目的是对掩模和晶片进行高精度测量,以进行高质量的设备制造。该系统具有广域双目视觉单元、激光/光学传感器以及最新的多传感器检测技术，以最高精度执行测量和检测任务。双目视觉机由两个物镜组成，其视场覆盖了大面积的样品底物。激光传感器从一个8轴扫描头发出光，反射光被安装在结构站上的四个光传感器检测到。这允许检测基板表面上发生的任何变形和不规则性。激光/光学传感器以高精度测量基板中任何缺陷的形状和大小，多传感器检测技术通过对基板的物理参数提供更精确的分析，进一步增强了检测工具。先进的光学测量资产可以测量广泛的样品，包括不透明和非透明的掩模和晶片。它不仅可以检测到表面瑕疵，还可以测量线条的宽度和厚度、图桉的边缘位置、缺陷的面积和形状，以及反磨晶片的表面均匀性。这有助于确保最高质量的设备制造过程。自动检查模型还使用户能够在用户友好的图形用户界面（GUI）中存储和召回多个基板的检查数据。这在分析大量样品时特别有用。此外,用户可以轻松比较不同的检查数据集以进行模式匹配,还可以为各种应用程序设置自定义参数。这些特性使HMS-5000成为功能强大但用途广泛的检查设备。综上所述，ECOPIA HMS-5000是一个先进的掩模和晶圆检测系统，为用户提供高精度的测量高质量的设备制造。其多传感器检测技术、广域双目视觉单元和激光/光学传感器使其成为检测各种基板表面缺陷的理想机器。此外,其直观的GUI和可定制的功能使其成为自动检查的功能强大且用途广泛的工具。