二手 ELICON EMA 3540 #106694 待售

ELICON EMA 3540是用于半导体器件生产的全自动掩模和晶圆检测设备。该系统旨在快速准确地检测生产过程中IC掩模和晶片上的缺陷。该单元利用先进的光学系统和高分辨率成像能力，成功检测和显示各种缺陷。EMA 3540基本上由光学基板分析仪（OSA）和软件评估机（SES）组成。OSA加热和压平晶片或掩模进行检查，用保护板覆盖基板，然后将低强度的激光束引导到基板上。当激光束从基板反射出来时，它被OMA先进的光学系统监控。OMA能够检测到各种缺陷，如粒子、针孔、粒子簇，以及传统方法更难以检测到的其他缺陷。一旦OMA识别出缺陷,它就会被处理并显示在SES上。该集成软件旨在帮助用户快速准确地解释数据。SES软件能够快速准确地识别被检测基板上感兴趣的区域，对缺陷进行分类，并为用户创建检测报告。此外,如果需要,用户可以对掩码或晶片进行必要的更正。ELICON EMA 3540还具有高度可定制性,能够满足各种检查要求。例如，OMA可以同时用于检查多个基板，而SES能够分析和显示大量基板的信息。此外,用户可以定制工具以满足其特定的检查要求,从而能够快速、准确地以高度的精度和可靠性检查晶片。EMA 3540是寻求优化运营和提高成品质量的制造商的理想解决方桉。ELICON EMA 3540配备先进的光学系统、高分辨率成像功能和可定制选项,可提供快速、准确的掩模和晶圆检查功能,帮助制造商减少缺陷并提高整体工艺效率。