二手 ESI / MICROVISION 3900 #9255782 待售

ESI/MICROVISION 3900是由ESI设计的用于制造微电子元件，如集成电路（IC）的掩模和晶圆检验设备。这种先进的光刻系统结合了扫描电子显微镜（SEM）技术和自动模式识别，能够检查光掩模和抵抗图样晶片的线宽（临界尺寸或CD）和图样完整性。该单元的用户友好图形用户界面（GUI）有助于高效操作和数据采集。它实现手动和自动操作,允许用户为其特定应用程序配置检查模式和参数。检查参数既包括要检查的晶片区域（如有源器件区域，或ADA），也包括要检查的电路元件（如线段和通气）。使用ESI 3900可以获得高分辨率图像,从而可以精确检测和测量缺陷。它配备的电子束电流为0.5 nA至10 nA，分辨率为0.2 μ m。此外,可可靠地识别线宽高达0.3 μ m的图样。它由Windows XP Professional操作机器提供动力,用于可靠的刀具控制。除了基本的检查和测量功能外，资产还提供了为更复杂的模式定义用户定义的检查规则的能力。输入数据可以直接从IC布局或CAD绘图中获取,也可以与现有的检查库连接。检查结果以行业标准格式报告,如有必要,可对测量数据进行统计分析,以检测表明过程失败的任何模式或趋势。MICROVISION 3900旨在为微电子元件提供快速、彻底、准确和可靠的掩模和晶圆检查。其强大的功能、高分辨率、扩展的功能集和易用性使其非常适合需要质量控制和对制造零件进行深入分析的各种行业。