二手 ESI / MICROVISION MV 853 #9104086 待售

ESI/MICROVISION MV 853掩模和晶片检测设备是一种加速器驱动的综合检测和计量工具，用于对光掩模和晶片进行高度精确的测量。结合ESI MV系列的领先性能和优越的粒子动力学，该系统为半导体行业提供了一个完整的解决方桉，以满足精密的掩模和晶圆检测系统的要求。ESI MV 853是一个全自动单元,能够以前所未有的速度和精度检查和测量各种掩模和晶圆几何形状。它提供了当今最高分辨率的成像,并配备了几种精确的测量工具,如布局比较（LQV）、迭加测量（OVM）、光谱反射率和波长相关测量（WMD）,以及可靠的缺陷检测模块（DDM）,用于定位线边上的宏缺陷和未知的缺陷。该机专有的高吞吐量数据采集技术利用了尖端加速器和镜像,实现了卓越的速度和吞吐量。它提供高达60dB的动态范围,并在DIWNAE（深层隔离宽噪声和边缘效果）模式下测量低至5.1nm的特征大小。此外，增强信号能力使工具能够更好地区分缺陷和非缺陷，同时提供更高的测量精度和检测精度。MICROVISION MV 853的其他特性包括Auto Focus、Pattern Shooting、Field of View Finder、Intermediate Focus、Dynamic Focus、Resolution Range Extender。"自动聚焦"功能会自动引导用户根据晶圆/蒙版深度进行最佳聚焦设置。"阵列拍摄"功能可捕获蒙版上预定义的阵列或感兴趣的矩形区域的图像。视场查找器（Field of View Finder） （FOVF）允许用户以各种方向和放大倍数获取多个图像。Intermediate Focus功能可快速扫描整个晶片以找到最佳焦点设置。动态焦点可用于快速找到感兴趣的领域或领域的最佳焦点设置。最后,"分辨率范围扩展器"允许用户测量衍射受限光学器件无法实现的次要特征。MV 853是一种综合性的掩模和晶片检查资产,旨在提供高精度的测量,并具有最佳的吞吐量和精度,可用于各种掩模或晶片几何形状。此模型提供一流的成像分辨率、动态范围、增强的信号能力以及其他几种精确的计量工具,以满足最复杂的掩模和晶圆检测设备要求。