二手 ESI / MICROVISION MVT 7080 #293626852 待售

ID: 293626852
Wafer inspection station.
ESI/MICROVISION MVT 7080是为半导体工业设计的顶级掩模及晶圆检测设备。该系统对小至150纳米的图样提供精确、高分辨率的成像,既提供高质量的图像,又提供精确的测量,用于手动检查和审查或自动发现问题。ESI MVT 7080采用先进、最先进的算法,允许用户捕获各种大小和形状的清晰图像,如线条和圆圈。图像使用高精度估计器和检查器进行处理,从而产生可靠的定量信息。此信息随后可用于检测处理错误和验证电路上的特征位置。该单元包括两个主要组件:掩模检查模块(MIM)和晶圆检查模块(WIM)。MIM以0.6 μ m的最大分辨率和高达32 mm的景深执行掩码检查。使用先进的CCD数字成像和专利算法使机器能够识别和量化成像缺陷,即使在复杂的掩码布局中也是如此。WIM允许从200 mm的最大晶圆尺寸进行精确检查。利用最新的晶圆检测自动缺陷检测器(ADDI),WIM能够检测和测量表面缺陷、图样缺陷和薄膜缺陷,测量精度小于30纳米。这种高度自动化的工具进一步提供了用于缺陷分类和缺陷调整大小的高级算法,从而可以更快、更准确地执行质量控制。最后,该资产具有高度模块化和可扩展性,允许用户轻松执行复杂的多阶段检查。加上可选的基板级或大纳米探针站,MICROVISION MVT 7080可用于检查多种材料,包括大基板甚至纳米级结构。MVT 7080是寻求可靠、精确的掩模和晶圆检测模型的半导体专业人士的绝佳选择。此设备提供极高分辨率的成像、高效的数据处理、自动缺陷检测和高级缺陷分类,使质量控制专业人员能够快速准确地检测和解决制造问题。
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