二手 ESI / MICROVISION MVT 7080 #9187367 待售

ID: 9187367
Wafer inspection station, 6".
ESI/MICROVISION MVT 7080掩模和晶片检测设备是一种精密的成像和分析系统,旨在为掩模和晶片提供可靠和准确的检测。它结合了先进的光学成像技术和先进的图像处理算法,以识别蒙版和晶圆表面上的潜在缺陷位置。ESI MVT 7080具有由精密干涉仪、色差校正器和10 x/0.4物镜组成的光学测量单元,用于高精度成像。像差校正器可确保保持精确的扫描和成像功能,即使在使用大型基板或目标无法完全对齐时也是如此。一个集成的3轴级提供了移动物镜和样品的能力,允许检查各种尺寸的面罩和晶片。MICROVISION MVT 7080成像机利用高分辨率CCD线扫描相机捕捉和存储图像。CCD相机具有2048像素x 656线分辨率,能够存储多达128,000像素的数据。通过嵌入式处理单元对成像工具捕获的数据进行集成和分析。该单元具有用于缺陷检测、检查和判断以及其他模式处理任务的算法。它能够将缺陷分为四类:线宽、开放/短、缺失和反射率。MVT 7080还具有用户友好的控制资产,为用户提供了操作各个方面的直观界面。这包括模型函数、数据输入、显示调整、参数设置和检查结果。包括统计分析和绘图功能在内的一系列附加功能进一步补充了ESI/MICROVISION MVT 7080的功能。综上所述,ESI MVT 7080是一种易于使用、可靠且准确的检测设备,可为用户提供全面的成像和分析功能。它结合了先进的光学、成像和处理功能,使其能够一致、准确地识别掩模和晶圆表面的潜在缺陷。
还没有评论