二手 ESTEK / ADE AWIS #9037134 待售

ESTEK/ADE AWIS是一种综合性的自动化晶片和掩模检验设备，旨在最大限度地提高晶片和掩模制造商的生产效率和准确性。该系统为各种自动检查和缺陷分析提供了高效、经济高效的解决方桉。ADE AWIS是一个精密仪器单元，融合了强大的光学和成像能力以及先进的工艺控制。它利用8"晶片级用于晶片直径最大为8"，并使用掩模级用于掩模最大为254mm X 355mm。光学包括显微镜数字变焦功能和各种类型的照明，包括UV、背光、光学滤光片以及专门的暗场和暗边技术。检测机使用先进的成像和比较技术来识别和分类单个图像上的缺陷或裸机或蒙面硅片的多个图像。使用的软件允许全自动缺陷审查过程（包括实时监视）,每个缺陷最多可存储8个图像。该工具具有高度的定制功能,允许针对特定客户需求设计量身定制的程序。该资产可以分析晶片结构和掩模膜,其尺寸可降至0.3-0.4微米.可检查的典型缺陷有碎裂、划痕、异物、橡胶颗粒、尖刺缺陷、颗粒簇、抗渣等。该模型还包括一个玻色子集成激光器，以检测和测量抵抗模式的间距。设备配备了基本的图像诊断，如对比度控制、自动对焦、亮度控制、颜色反转以及一系列色彩校准功能。它还有一个自动直方图生成器对缺陷进行分类，以及一个综合缺陷分类表，以便更好地评估缺陷数据。总体而言，ESTEK AWIS是一种先进的数字晶片和掩模检查系统，提供无与伦比的检查能力、准确性和速度。它强大的功能和易用性使其成为晶圆和掩模制造商的重要工具,这些制造商需要减少缺陷并最大限度地提高产量。