二手 ESTEK WIS-850 #293595284 待售

ESTEK WIS-850是一种先进的基于视觉的掩模和晶片检查设备，旨在为掩模和晶片图像提供高性能检查和审查能力。该系统结合高分辨率CCD摄像机技术和复杂的图像处理算法，快速检查和检测微电子中使用的材料和结构的缺陷。WIS-850能够检查晶片和掩模上的纳米级结构和特征。它可以识别线条图桉、特征大小、缺陷、薄膜厚度、光刻胶特征和CD非均匀性。该单元具有较高的聚焦深度，用于精确的3D图像轮廓测量，可集成多场验证，以确保检测可靠性，减少屈服损失。该机采用独特的检测算法进行缺陷识别、图像识别和模式匹配。它可以检测到表面缺陷，包括针孔、由不良涂层和污染物引起的亲水性或疏水性缺陷，以及由气隙引起的表面变形。它还具有一整套数据减少和显示功能,以便进行可靠的数据驱动缺陷分析。该工具的统计质量控制（SQC）模块允许用户将测试结果与目标值进行比较,监视过程性能并生成实时报告,突出显示产品质量与过程性能之间的相关性。该模块还支持动态多参数测试和缺陷分类，以及放大镜监控工具。ESTEK WIS-850还具有高精度晶片检查功能,可以快速查看设备结构,而无需单独的掩码和晶片图像。它也有一个自动化的粒子检测和分类资产，可以识别颗粒大小，密度和形状早期工具状态监测。该模型还包括用于减少重复检查的光束除尘器模块，以及用于一维和二维模式的精确缺陷分类的高级光学检查算法。WIS-850是一种功能强大的掩模和晶片检查设备,由精密的硬件和软件组件组成,有助于减少过程和质量控制损失。该系统强大的检测和评审功能为用户提供了改进的缺陷检测、3D图像轮廓测量的准确性、多参数测试、粒子检测和分类以及光学检测算法。