二手 HANMI 3D Vision #9228320 待售
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HANMI 3D Vision是一款综合性的蒙版和晶圆检测设备,旨在提供超高分辨率图像,以确保您的产品没有缺陷,上市时间更短。这是一个独特的3D检查解决方桉,它将地下成像技术与先进的计量系统结合在一起,并具有自动化的工作流程,允许将设计过程压缩到制造过程。该系统能够进行各种临界检查,包括:光学设计监测、缺陷识别和分类、模式匹配和比较以及模式临界尺寸测量。3 D Vision的快速AFM选项利用获得专利的成像策略在单个扫描周期中获得多轴成像。这样就可以对集成电路中的特性进行近乎实时的结果和表征,否则就很难用传统的光刻技术来检测。此外,该单元创新的EPV(渐进电压)成像算法产生高对比度对比度和均匀性的高分辨率图像。这样就可以精确定位过程签名,例如埋藏的联系人和通信人。机器还提供了先进的模式识别和模具排序功能,允许更高效的流程流和产量管理。HANMI 3D Vision相机工具具有可扩展性,可定制针对不同应用程序的解决方桉。高分辨率CCD技术和深度选择性聚焦使地下成像能够进行严格的宏观和微观水平检查。资产的内置线宽测量模型提供了对所有类型的高级结构的精确测量,如线和空间结构、接触孔、通孔、迭加和配准。该设备旨在以最小的设置和易用性无缝地集成到现有的生产过程中。它与各种用于后处理数据的自动化过程集成在一起,同时提供晶圆和层的易于读取的3D视图。3 D Vision是用于掩模和晶片检查的可靠可靠的产品,可确保最高的产量和最快的上市时间。它提供了极大的灵活性和先进的检查和计量能力,这将有助于芯片制造商和设计师不断提高生产质量。
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