二手 HANMI 3D Vision #9256297 待售
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HANMI 3D Vision是一款先进的2D/3D蒙版和晶圆检测设备,旨在提高光刻和检测等过程的可靠性和准确性,同时促进超快操作、准确性、样品扫描和测量。这个先进的系统被设计用来测量各种形状的蒙版和晶圆形状,如矩形、圆和弧形,精度高达一微米。其先进的算法可以精确识别、分类和分析掩码中的对象,使HANMI能够准确检查模式或缺陷。该单元还设计用于分析各种材料上的模式,使用户能够轻松地相应调整检查标准。该机器使用明暗光源,可以在单个芯片中评估多达4k的模具区域,拍摄曝光的光刻面罩的晶片级图像,并分析覆盖、图样、线条和缺陷晶片,允许用户检测任何缺陷。HANMI紫外线光源还具有识别亚衍射极限缺陷的潜力,这些缺陷以前太小,无法检测。该工具的成像功能可以捕获深达25微米、大于200 K像素的图像,为用户提供了广泛的诊断数据,供用户检查。此外,其复杂的CCD(电荷耦合器件)成像设备能够捕获和存储低噪声水平的大图像数据,从而使检测过程更快、更准确。资产的自动化检测能力包括模式识别、模式匹配、晶圆检测、缺陷枚举、线/高度测量和相位关联。它还生成包括通过/失败统计信息、缺陷分布和掩码精度在内的报告,使用户能够准确分析检查结果。为了进一步提高其有效性,HANMI结合了3 D视觉测量、缺陷检测和模式分析,使用户能够同时识别和分析掩模和晶圆布局。不仅如此,该型号还配备了内置的变焦功能,让用户能够精确测量小物体。总而言之,HANMI 3D Vision设备可以显着减少掩模和晶圆检测的时间和成本,同时提高准确性和可靠性;使其成为目前最先进、功能最强大的掩模和晶圆检查系统之一。
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