二手 HERMES MICROVISION / HMI eP3 XP #9309099 待售

HERMES MICROVISION / HMI eP3 XP
ID: 9309099
晶圆大小: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eP3 XP是一种高精度的掩模和晶圆检测设备,旨在为半导体微电子和纳米电子制造中的先进工艺控制和屈服优化提供全面、经济高效的解决方桉。它能够检测单层和多层掩码以及标准和高效晶片上的缺陷。HMI eP3 XP具有覆盖整个示例的小视场(FOV)集合。这确保了掩模和晶片检验的视野适合制造过程的所有阶段。该系统配备了两个集成的CCD摄像机-一个用于不可见光照明,一个用于可见光照明,以提供整个样品的全光覆盖。它还具有一个图像预处理引擎来过滤出背景噪声并减少阴影效果,以及模式识别软件来检测最优缺陷到亚微米级。该单元设计用于处理多种基板,包括硅、蓝宝石、石英和多晶硅。它以自动精度检查一系列曲面,包括平整、弯曲和3D。HERMES MICROVISION eP3 XP能够快速、精确地检查口罩、晶片和基板,而无需人工干预。它提供了可靠和一致的结果,并且其先进的光学和图像处理算法保护了最大的工艺产量,减少了代价高昂的错误和报废。该机器还包括易于使用的软件,设计用于自动化数据分析和报告。EP3 XP可与企业软件系统和数据服务器集成,以方便高效传输检查结果。它包括站点映射、示例地图和模式跟踪等高级功能,并支持多种语言。HERMES MICROVISION/HMI eP3 XP是一种高度可靠和高效的掩模和晶圆检测工具,占地面积最小。它可以处理大的样本量和复杂的布局,具有一致的精度和精确度,而直观的控制使得它易于操作。其特点和性能使其成为寻求先进质量保证和工艺优化的半导体制造商的合适选择。
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