二手 HERMES MICROVISION / HMI Epointer #9259976 待售

ID: 9259976
晶圆大小: 12"
E-Beam inspection system, 12", parts machine (2) TDK E4 Loaders RORZE RR716 ATM Robot.
HERMES MICROVISION/HMI Epointer是一种用于光刻和纳米光刻制造工艺的掩模和晶圆检测设备。它用于准确可靠地检查高分辨率的掩模和晶片的错误和缺陷。HMI Epointer系统具有低相干光源和数码CCD/CMOS相机。这使得它能够捕捉高对比度和锐利的缺陷图像,即使在纳米尺度。检验单位使用了一个强大的光学比较器,能够对不同的掩模和晶片的图像进行蒙太奇处理,将它们的特征相互比较。这样可以确保在基板的所有区域检测到缺陷,无论其规模或结构如何。HERMES MICROVISION Epointer机器还具有内置的自动缺陷审查功能。这减少了人工干预的需要,减少了检查时间,提高了效率。使用功能强大的自动化工具,它可以轻松检测缺少图像或行宽错误等错误。这种检查资产也被设计为易于使用和操作。它是高度符合人体工程学的,允许用户调整显微镜的位置,以最适合他们的需求。它还有一个直观的用户界面,设置可以很容易地调整到符合特定的检查要求。Epointer模型支持SEMI-E82和SEMI-E87标准。这使得它适用于各种光刻和纳米光刻应用。其图像处理技术允许对缺陷和错误进行准确、高质量的检测。结果以多种显示模式显示,同时显示2D和3D图像。总体而言,HERMES MICROVISION/HMI Epointer使掩模和晶片检查比以往任何时候都更容易和准确。其先进的特点和符合人体工程学的设计使其非常适合用于各种光刻和纳米光刻应用。
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