二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9281449 待售
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ID: 9281449
晶圆大小: 8"-12"
E-Beam defect inspection system, 8"-12"
FOUP, 12"
SMIF, 8"
Transfer unit
Chamber room
Powerbox
Power processor
Loader.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 310是一种蒙版和晶片检查设备,设计用于提供精确、高速、高分辨率的晶片和蒙版成像。它专为3 D计量、缺陷检测和监测光掩模、标线、微电子离散元件和MEMS器件的制造而设计。HMI eScan 310配备了具有高分辨率成像能力和卓越通用性的先进显微镜技术。其独特的光学和智能成像软件旨在制作高分辨率和低噪声的3D图像。它可以达到5 nm的临界分辨率,提供复杂几何形状和高密度阵列的全面视图。该系统还配备了先进的光束控制和超逼真的图像序列,允许对表面及其细节进行完整的3D成像。其高速的数据采集和加速的图像处理能力使图像分析更加容易和准确。此外,HERMES MICROVISION eScan 310还具有宽域单元、本机集成的CAD工具、直观的3D查看器以及全面的自动化功能,以简化检查过程。它的双照相机检查可以与单照相机结合进行全场检查,即使是最小的特性也能实现全覆盖捕获。该工具还提供了高级算法来定位不同材料中的缺陷、检测磨损程度、亮度均匀性、亚像素分辨率变化以及其他基板参数。它还支持各种掩码格式,包括正弦径向、共面和六边形设计。此外,eScan 310还提供了一个交互式用户界面,供用户查看、比较、分析和报告结果。它还提供了多个数据集,可以随时间进行比较,从而确保缺陷检测的准确性。总体而言,HERMES MICROVISION/HMI eScan 310是一种先进的掩码和晶圆检测资产,可提供高速、高分辨率成像。它能够检测各种材料中的缺陷,并具有强大的功能,如本机集成的CAD工具、自动数据采集、高级算法和直观的3D查看器。而且,该模型提供了一套全面的功能,使用户的检查过程更容易、更快。
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