二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp #293595412 待售

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ID: 293595412
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
E-Beam inspection system, 12" Robot handler (2) FOUPs EV-S20P Dry pump CIM: SECS / GEM Operating system: Windows XP E-gun non-functional 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 315xp是一款功能强大、先进的掩模和晶圆检测设备,旨在为小型半导体元件提供自动化、高精度的光学检测。该系统具有许多功能,包括高达10 nm的全帧成像分辨率、卓越的图像采集和图像分析能力、超快的样本扫描时间以及几种高级软件工具和选项。HMI eScan 315 xp利用了最先进的光学单元,由190纳米深紫外线光源、显微镜物镜和高分辨率数码相机组成。该机器的超灵敏光学工具提供卓越的成像性能,可对10 nm以下的结构进行高精度成像。资产先进的成像算法提供高速图像捕获和分析以及卓越的图像对比度,使其非常适合一系列晶圆检查和打印线识别需求。HERMES MICROVISION eScan 315 xp还附带了一套自动化软件工具。这些包括先进的面罩检查、基板检查和缺陷检测工具。掩模检查工具允许快速和自动检测光掩模图样中的缺陷,而基板检查工具允许对光刻基板中的关键缺陷进行精确的板载检测。该模型的缺陷检测工具可用于识别薄膜层和硅层的屈服临界缺陷,并可提供晶圆特异性缺陷覆盖的详细分析和报告。该设备还具有一系列内置功能。这些包括可编程扫描速率、敏感数据归档和系统范围的错误处理。高级扫描速率功能可加快扫描速度,而数据归档功能可确保所获取的图像数据能够安全存储。该设备的错误处理系统使其非常适合用于关键任务应用程序,提供了针对潜在灾难性事件的故障安全保护。EScan 315 xp是一款功能强大且用途广泛的面罩和晶圆检测机,专为在一系列应用中的卓越性能而设计。它结合了光学精度、成像性能、先进的软件工具和有用的功能,使其成为半导体元件检查和测试的宝贵工具。
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