二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293641226 待售

ID: 293641226
晶圆大小: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一款功能强大的掩模和晶圆检测设备,可提供精确、高速的光掩模和晶圆边缘图像检测。它提供了卓越的准确性和可靠的检查结果,并提供了最小的停机时间和最小的维护。HMI eScan 320配备了一个18MP电荷耦合器件(CCD)传感器,能够扫描最多8 µm的掩模表面。它包括强大的处理软件和自动摄像机对准系统,确保摄像机的精确定位和成像传感器的精确对准。HERMES MICROVISION eScan 320具有广泛的照明类型,可用于检查标准和定制口罩。这包括顶视图、侧视图和底视图照明。它还提供多种图像捕获模式,如EWA(增强晶圆对齐方式)模式和全掩码对齐模式。此外,它还具有用于检查高分辨率和低分辨率晶片的先进光学器件。EScan 320具有多种功能,可实现准确、可重复的掩码检查结果。其中包括高度敏感的相机、获得专利的Multi-Pattern Wavefront成像技术、自动对焦单元和先进的处理软件。这些功能使HERMES MICROVISION/HMI eScan 320能够检测小到2微米的小缺陷,同时提供最大的准确性和可重复性。而且,HMI eScan 320具有独特的自动化缺陷识别机,能够生成晶圆或掩码上的颗粒和划痕等重要缺陷的完整缺陷图像。然后使用这些图像来比较和分析缺陷,帮助确定缺陷的原因和适当的纠正措施。最后,HERMES MICROVISION eScan 320是一种人性化的检查工具,操作和维护简单。它包括直观的图形用户界面(GUI)和易于学习和使用的用户友好软件,使资产易于适应不同的应用程序和任务。此外,eScan 320还可以进行升级以适应新技术,使其能够通过行业标准的掩码和晶圆检查过程保持最新状态。
还没有评论