二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729 待售
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已售出
ID: 9171729
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
E-Beam defect inspection and review system, 12"
Integrated front-end
Dual pod FOUP, 12"
(2) High quality flat panel displays
GUI / Image computer XEON dual CPU 3.2GHZ, 2GB memory
Host computer Pentium IV 3.2 GHZ, 2GB memory
DBDB (Detection baseon design base) function
E-Chuck wafer holder
Active damping
TFE Electron beam emission source sub-system
Electron optics column sub-system
HV Power sub system
Programmable wafer biasing & charge balance control
SE and BSE high speed detection
2012 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一种完全集成的掩模和晶片检测设备,旨在有效检测晶片和掩模上的缺陷和其他不规则性。该系统能够执行二维和五维成像,每像素可测量高达17微米,分辨率高达32纳米,并具有改进的功能。使用先进的成像技术,HMI eScan 320能够自动扫描和检测各种掩模和晶片之间的微小缺陷和大规模差异,无论其材料尺寸或最佳尺寸如何。该单元利用动态成像技术快速获取和精确比较图像，以检测任何可能影响芯片连续性或质量的不规则性。此外，HERMES MICROVISION eScan 320由于提高了速度和覆盖范围，能够在大面积地区进行高级缺陷分析。此高级分析包括各种类型缺陷的各向同性分析，如大线缺陷、三叶形缺陷、多边形缺陷和螺距缺陷。它还包括局部缺陷成像的微小直径孔，门距离方差，和短裤。EScan 320在低功耗模式下运行,能够对大面积进行高速检查,同时降低功耗。这台便携式台式机器的设计便于运输和操作。该工具还配备了一个内置的资产主管来监控模型性能和维护活动。HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一款功能强大、经济高效的掩模和晶圆检测设备,可检测和分析各种材料中的各种缺陷。HMI eScan 320凭借其先进的成像技术、高精度和低功耗,是制造商希望优化其掩模和晶圆检测过程的完美工具。
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