二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9378991 待售

ID: 9378991
E-Beam inspection system, 12" 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一种蒙版和晶片检查设备,设计用于检查半导体晶片和蒙版的各种属性。系统使用两种不同类型的显微镜组合,一种是白光源,另一种是成像相机。HMI eScan 320采用标准的光场光学显微镜,具有各种可用的目标,包括空气和浸油,允许用户检查微米级以下的区域。对于大规模的研究和生产应用,五轴电动级允许目标以亚微米精度在x、y、z轴移动。从10 x到200 x的各种放大倍数设置允许检查功能的最大灵活性。HERMES MICROVISION eScan 320的数字成像功能由先进的蔡司AxioCam ICMS数码相机提供,能够以高达1600倍的放大倍率捕捉图像。相机配备快速14位电荷耦合器件(CCD),全画幅速率高达36图像/秒,提供出色的图像清晰度和细节。支持颜色和单色验证模式。此外,可以将外部彩色监视器连接到照相机以查看彩色图像。该单元还具有高强度LED白色光源,允许在整个视野中保持一致的照明。LED光源的强度是可变的,可提供宽视角和低热变化,从而实现最佳图像。EScan 320是一种集成检测机,提供卓越的图像质量和精确性能。该工具能够放大、记录和成像高度详细的掩模和晶片,为需要卓越检查能力的生产和研究应用提供了理想的解决方桉。
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