二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9244052 待售

HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是一种全自动掩模和晶圆检验设备，用于检查光刻工艺中使用的半导体掩模。该系统便于从四个角度进行检查,包括透射率、吸收率和反射检查以及自动缺陷定位。这个单元可以在几分钟内检查16M的蒙版图像，以高精度、惊人的速度加速整个过程。HMI eScan 405包括一台高性能光学机器,包括10 X和20X目标、8英寸显示器和真空遮罩卡盘,使其能够从遮罩功能获取UV光图像,且精确度极高。该工具利用内置校准机制和先进的自动聚焦算法,精确地捕捉有效像素大小为340 x 510 nm的高分辨率图像。HERMES MICROVISION eScan 405中掩模/晶片的检查过程从掩模对准开始。然后使用一对LED照明单元获取掩模的图像。在此过程中，掩码的边缘是对焦的，使用高级图像算法对原始图像进行数字化和分析。在图像中快速检测到各种缺陷和遮罩长宽比异常，以准确的结果快速完成检测过程。对于晶圆检查，资产配备了一个旋转级，以高精度连续扫描多个站点。在采购过程之后,集成软件包有助于检测和绘制缺陷。此方法不同于典型的手动过程,因为此模型可以在人工操作员花费的一小部分时间内有效地分析掩码/晶圆图像。此外，该设备还具有条形码形式的聚合晶片图像，可用于跟踪相关产品的过程和跟踪晶片的验证历史。EScan 405系统还具有高吞吐量程序。该单元允许用户预选晶片/掩码区域,可以更快地检查这些区域,从而节省了传统检查方法（如Sub-Field Verification （SFV）所需的时间。该机还提供半导体器件的自动高分辨率光学显微镜观测。HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是检查和检测掩模和晶圆图像中各种缺陷的宝贵工具。保证了高速、准确性和质量,使HMI eScan 405成为半导体应用的理想选择。