二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9285022 待售

HERMES MICROVISION/HMI eScan 500是一种自动化的掩模和晶圆检验设备，提供了一种可靠准确的方法来识别半导体和显示光刻中的缺陷。HMI eScan 500利用四个不同的检测元素-增强维修和制造、机器人晶片检测、多光束分析和检测系统软件-为模模检测、标线检测和平板液晶晶片检测等关键过程提供准确性和质量保证。增强修复和制造技术（ERFT）使HERMES MICROVISION eScan 500能够识别关键的制造问题,如图样缺陷、成像雾霾和边缘波浪。机器人晶片检查（RWI）使用机器人手臂扫描复杂的表面，如平板液晶晶片。与参考模具对齐等功能,加上模具对模具的检查,有助于优化晶片吞吐量和过程控制。此外,它还具有一个基于视觉的单元,该单元使用多个光束,这些光束可用于最初未被ERFT机器检测到的关键模具缺陷。利用多光束分析技术（MBAT）镜头，eScan 500可以快速准确地找出问题的原因。电子束（e-beam）或激光扫描用于识别可疑缺陷的确切位置。HERMES使用显微镜和软件,将机器可读扫描与参考标准进行比较,以确定是否需要修复缺陷。此外,HERMES MICROVISION/HMI eScan 500上的MBAT可以生成这些缺陷的图像并将其捕获,以便向规划师或工程师提供物理证据。最后，Inspect Tool Software （ISS）允许使用"Process Maps"或"pixels"对成像参数和激光光斑大小和位置进行精确调整。这样可以确保图像始终在过程的每个部分（如对齐、边缘处理、成像等）的规范范围内。HMI eScan 500是一种先进、精密的口罩和晶片检验仪器,可确保产品的机密性和质量保证。其一流的技术使工程师和质量控制人员能够快速识别以前未发现的缺陷。此外,HERMES MICROVISION eScan 500是一种经济实惠且易于使用的资产,为半导体和显示器光刻行业的组织节省了时间和资金。