二手 HITACHI IS 2000 #9103910 待售

HITACHI IS 2000
製造商
HITACHI
模型
IS 2000
ID: 9103910
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Pattern defect inspection system, 8" 1993 vintage.
HITACHI IS 2000掩模和晶片检测设备是一种自动化的高通量掩模和单晶片检测系统,它结合了卓越的设计和先进的掩模和晶片缺陷检测能力。该单元力求为缺陷检测提供最佳结果,同时最大限度地减少用户干预。这台机器采用高能BSE/SE/Raman成像技术,利用高分辨率的10百万像素(11,520 x 9,024像素)Peltier冷却的50 mm CCD相机,以最小噪音水平制作高对比度图像。该工具还包括先进的图像处理和特征识别新算法,以改善缺陷检测。分级分辨率为0.6um至0.5 μ m,边界质心畸变<100 nm,背景和光学介电测量精度<1%。该资产还能够测量最小值为0.1 μ m和精度为0.08 μ m的缺陷长度。除了优越的设计和缺陷检测能力外,该车型还配备了强大的软件,以确保人性化操作。该设备提供了一系列有用的功能,包括:自动缺陷分类、焦点控制、检测模式生成、缺陷预防设置和缺陷图管理。系统还能够自动保存检查结果。该软件在Windows (7或更高版本)中运行,便于操作。IS 2000 Mask&Wafer Inspection Unit设计用于自动识别缺陷的过程,使其非常适合用于从高级过程控制到Mask或Wafer开发的应用。它的产品设计使用户能够灵活地检查各种掩模和单个晶片,从而为掩模和晶片检查提供了一个功能强大、经济高效的解决方桉。
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