二手 HITACHI IS 2700SE #9083778 待售
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HITACHI IS 2700SE是全球领先的面罩和晶圆检测设备。它旨在帮助半导体和微电路制造商测量、检测和提取掩模和晶圆图样的相关细节,以便进行有效的过程控制和优化。该系统主要由光源、摄像机子单元、成像机和迭加分析软件四个部分组成。光源为紫外线(波长约365nm)放电灯,功率输出大致500W。相机子工具负责捕捉并将光源输出转移到成像资产。成像模型由CCD摄像机和双目显微镜两个主要组成部分组成。显微镜能够从CCD相机放大图像,快速准确地检测任何缺陷和缺陷。然后,迭加分析软件从成像设备中获取捕获的图像,以确定晶圆或掩模上的图样质量,并将其与预定义的标准进行比较。该系统可支持各种曲面形状和掩码,像素大小最大为8um。它可以处理高达0.1um的层厚度和2288 x 1712的图像大小。其最大聚焦范围为1.3mm,速度为每秒2.4帧,是高精度制造工艺的理想选择。该单元包括一系列应用程序,以帮助用户获得最准确的结果。这些功能包括数据分析功能,允许用户识别和分析晶圆或掩码上的缺陷。此外,还可以使用精确设置功能使结果适应特定的客户要求。该机还支持多种测量模式,如自动检测、手动检测、自动拓扑数据库分析等。IS 2700SE工具还具有用户友好的图形用户界面(GUI)。这使用户能够快速轻松地选择和配置资产,以及处理参数以最好地满足其要求。最后,该模型提供灵活的联网功能,支持PCNT、TCP/IP和其他网络等多种平台。总而言之,HITACHI IS 2700SE设备是寻求有效测量、检测和分析掩模和晶片缺陷的半导体和微电路制造商的理想解决方桉。通过使用该系统,制造商可以受益于更少的工艺延迟、更好的产量质量和更低的成本,从而确保最高的制造准确性和卓越性能。
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