二手 HITACHI IS 2700SE #9123256 待售
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ID: 9123256
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Defect inspection system, 12"
Process: Scanning electron microscope(SEM)
(2) Loadports: TDS TAS3000
Dalsa controller
TDI Sensor
Laser box
Microscope
Stage assy
Controller card cage (left):
CPK B/D Slot 11~15, 20, 22~25
CPK B/D Slot 16~19, 21
Macro 6642 B/D
TECTRON B/D
Controller card cage (right):
BPK B/D Slot 11~14,17~20, 22~25, 28~31
BPK B/D Slot 15,16, 21,26,27, 32~34
Operation module:
System computer
(3) Power supplies
CCD monitor
PC monitor
Video printer
Laser power switch box
Coherent laser controller
Keyboard, joystick, trackball
Rear cover missing
Power: AC200V, 1 Phase, 3-wires, 50/60Hz, 60A
2004 vintage.
HITACHI IS 2700SE mask&wafer检测设备是一种先进的自动光学检测系统,旨在高效分析半导体和电子制造业中的光掩模和晶片。它提供高速且非常精确的检查功能,能够快速识别新设计和现有设计中的缺陷。IS 2700SE的设计采用精密、6轴机器人和8000万像素图像处理传感器，能够以极其精细的细节检查早期的掩模和晶片。它提供正面和反面以及复杂的多面检查。此外，它的晶圆检验能力包括识别石英和玻璃基板上的缺陷。HITACHI IS 2700SE利用高精度光学成像技术精确检测即使是尺寸高达2纳米的最小缺陷。该单元独有的是多光束共聚焦光学构型，它使机器能够获得比典型透镜工具更精确的图像。这使IS 2700SE能够更快地识别缺陷,并在几秒钟内记录准确的结果。利用可用于处理掩模和晶片类型的任意组合的探针阵列,资产可以检查平面、微电极、台阶曲面以及开槽材料。该模型具有一系列自动化测试,可与各种软件配合使用,使用户能够查看测试结果并设置测试参数,从而能够更快、更高效地进行测试。软件包括缺陷分类、检测调整、面向区域检测、故障定位、阈值模式和顺序缺陷图。HITACHI IS 2700SE提供了广泛的工具,允许用户自定义如何执行任务。这些包括图像和缺陷内存、自动变换编程和检测工作流监控。它还具有用户友好的GUI界面,可简化操作并消除操作员在场的需要。IS 2700SE是高效分析和自动检测光掩模和晶片缺陷的可靠高效工具。凭借其自动化测试和用户友好的GUI,它提供了强大的检查功能,并且是任何半导体和电子制造工厂所必需的。
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