二手 HITACHI LA-3100 #293643481 待售

HITACHI LA-3100是由HITACHI开发的掩模和晶圆检测设备。它是一个全自动的高通量系统，用于检查半导体晶片、掩模和光掩模。该设备能够同时检查多个芯片,从而实现批量处理,从而提高吞吐量。LA-3100配备了具有双曝光模式和三曝光模式的高精度图像传感器，在检测和分析方面具有很高的准确性。该机还配备了自动晶圆进纸器（AFW）和多个图像处理系统（MIP），使一次成像成为可能。它还配备了自动对齐器，能够对晶片的所有6个侧面进行成像和对齐。该工具采用了一种专有的激光诱导荧光成像（LIFI）方法，该方法允许无损成像，并从视野中消除粒子。该资产还配备了自动化修复模型，支持缺陷的实时修复，使设备更加准确，维修效率更高。该系统的图像识别单元采用边缘提取和孔洞检测技术，在缺陷检测和分析中具有较高的精度。此外,机器的成像软件与MIP工具结合使用,处理高分辨率图像和信号处理,如光学滤镜,从而实现高速和高精度图像分析。该资产还配备了实时图像矢量分析模型，无需人工干预即可提供对缺陷的高精度检测。它还可以存储图像,提供存档结果和查看缺陷历史记录的选项。HITACHI LA-3100是检查半导体晶片、掩模和光掩模的理想解决方桉。其高精度成像传感器和自动对准，加上高速、高精度的图像分析和自动缺陷修复，提供了卓越的精度和可靠性。该设备的实时图像矢量分析系统使其比其他系统更具优势，提高了缺陷检测的准确性和效率。