二手 HITACHI LS 5000 #293811582 待售

HITACHI LS 5000 Mask&Wafer Inspection设备是一种专用的高精度检测解决方桉,利用光学成像和专有的Mask对准算法。它设计用于各种半导体应用的内联和离线掩码检查，也可用于3D掩码和晶圆检查。HITACHI LS-5000采用多用途的五轴级,通过组合独立轴实现快速复合晶片扫描和卓越的配准精度。两个摄像头同步提供高达45度的倾斜角，使其能够进行3维检查。两个头的镜头可以根据蒙版尺寸自动更换。该系统包括晶圆缺陷审查软件,该软件可累积、管理和执行缺陷分析。软件与掩码检查过程协同运行，揭示缺陷并收集数据。此单元可用于自动缺陷审查和缺陷分类。Predictive Defect Finder （PDF）配备了一个复杂的算法，从图像数据分析中识别模式并预测潜在的缺陷。该机器还有助于在实时基于AI的掩模缺陷审查的帮助下加快手动重新检查。此外,它还通过自动扫描功能支持全自动操作,从而实现高效、一致的掩码检查操作。它还提供其他功能，如气密检测工具，以及内置的自动校准功能。资产也可以用CCD计量等二级系统来实现。而且它的用户友好界面允许快速轻松地进行设置,从而提高了工作效率。LS 5000 Mask&Wafer Inspection模型是一种高度可靠且经济高效的检测机器,能够满足最严格的要求。其高精度的检测能力以及全自动操作，使其成为大批量生产的理想解决方桉。