二手 HITACHI LS 6000 #9026253 待售

HITACHI LS 6000是一种掩模和晶圆检测设备。它旨在对面膜和晶片进行准确、有力和经济高效的检查。它提供了一套专门的技术，帮助识别和检测小缺陷，然后准确测量和量化它们。LS 6000可确保快速、轻松地检测和隔离缺陷。该系统配备了250X光学系统，利用白光扫描技术精确检测缺陷。其照明成像单元结合了光学和软件来检测小至0.5微米（µm）的缺陷。还采用明场和暗场检测，快速检测具有不同不透明度特征的缺陷。其内置的运动和图像处理功能是自动化和软件驱动的,允许自动工作流。HITACHI LS 6000还具有快速精确的样品装载机，能够装载多达400个晶圆或掩模，最大装载率为每小时60片。机器的自动对焦识别技术确保快速准确的对焦检查，而其内置的曝光终端自动校正照明条件以获得一致的结果。LS 6000上的其他功能还包括内置检查和分类软件、精确分辨率降至0.5 µm、可自定义缺陷阈值、各种图像处理功能以及用户友好界面。该工具还提供了一整套编程和报告工具,用于全面的缺陷审查、缺陷分析和产品设计反馈。HITACHI LS 6000掩模和晶圆检测资产非常适合广泛的应用，如半导体制造、平板显示器生产、集成电路设计等。它能够检测广泛的缺陷，包括非常小的缺陷。其自动化平台提供快速缺陷检测、用户友好的操作和可靠的性能。它内置的编程和报告工具提供全面的缺陷审查和产品反馈。因此,LS 6000是一种功能强大且经济高效的掩模和晶圆检测模型。