二手 HITACHI LS 6500 #293643631 待售

HITACHI LS 6500是一种大型的自动化掩模和晶圆检测设备，可以快速准确地检测出跨越多个基板的产品缺陷。系统利用先进的算法来检测和分类缺陷，同时也允许用户自定义自己的扫描计划，以更好地分析特定的检查区域。该单元旨在提供高检测精度和检测率，同时保持极其灵活和可定制，以满足用户的需求。该机由光学传感工具、有源基板机构以及各种晶圆和掩模检测阶段组成。光学传感设备可以检测基板上的各种缺陷类型，并具有先进的成像技术以提高精度和速度。活性基板机构负责将基板从盒式磁带运送到盒式磁带，并在晶圆和掩模检测阶段之间转移。晶圆检测阶段采用两种不同的宽带光学系统.第一个模型负责检查整体地形和表面纹理。第二种设备用于模具级分析，包括先进的缺陷信号辨识和分析。最后,掩模检查阶段可以检测到各种形式的掩模缺陷,包括部分填充的图样特征、缺失特征、空隙、错位和设备级缺陷区域。HITACHI LS-6500的用户界面包含广泛的选项,并允许针对特定客户需求定制各种功能。它帮助用户设计扫描计划并快速检测新出现的缺陷。该系统还提供高度自动化,因为它可以快速配置扫描计划并根据客户规格调整设备设置。总之，LS 6500是一种高度先进的自动化掩模和晶片检验装置，为用户提供了一种可靠、高精度的晶片和掩模检测方法。该机器旨在提供快速、精确的检测率，同时允许用户根据自己的特定需求定制工具。该资产易于使用,有助于自动化部分流程,从而节省用户时间并提高准确性。