二手 HITACHI LS-6700 #9087166 待售

HITACHI LS-6700是为半导体工业开发的掩模和晶圆检测设备。它能够精确地测量晶片和掩模上低于纳米尺度的缺陷。该系统由三个模块化部件组成-一个光源单元、一个光学扫描单元和一个计算机单元。光源单元发出广谱的光，然后通过分束器引导到光学扫描单元。光学扫描单元由高清相机、镜头和实时位置检测单元组成。这些组件使掩模和晶片检测机能够以纳米级精度捕获晶片或掩模表面的高分辨率图像。计算机单元由较大的内存容量和强大的处理能力组成，使其能够快速处理成像数据。它还包括一个直观的图形用户界面（GUI），允许用户轻松快速地自定义蒙面&晶圆检查过程。HITACHI LS 6700除了提供缺陷大小和位置的资讯外，还识别各种缺陷类型。这包括测量开放/短路、台阶高度、凹坑和其他低于纳米尺度的表面缺陷。利用其内部算法，掩模和晶圆检测工具的用户可以快速识别和标记潜在缺陷。在可重复性和准确性方面，LS-6700是市场上最好的系统之一。它具有0.9%的出色可重复性，定位精度高达0.2纳米。该资产也非常适合于多模片晶片检测，能够一次分析多达四个模具。总体而言，LS 6700是一种出色的掩模和晶圆检测模型，能够提供高精度的纳米级分辨率成像。其模块化设计使其灵活易用，而其强大的处理和可重复性功能则允许快速准确的缺陷检测。