二手 HMI eScan 315 #9204651 待售
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ID: 9204651
E-Beam inspection system
(2) TDK TAS300 E4 Load ports
BROOKS AUTOMATION ABM407B-1-S-CE-S293 Robot
BROOKS AUTOMATION PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner
BROOKS AUTOMATION SC81-CE Controller
HMI System controller.
HMI eScan 315是一种由HMI制造的自动化晶片和掩模检验设备，设计用于有图样晶片和光掩模检验过程的经济高效的解决方桉。该系统由专有的PAT-FINDER图像处理器提供支持,利用三通道彩色CCD摄像头,每次扫描可精确捕获多达143个晶圆或掩码的图像。这样可以快速准确地检查缺陷,确保生产技术始终可靠和有利可图。EScan 315配备了高速彩色CCD相机和X、Y和Z运动舞台，以确保产品在大面积上的可靠成像。首先使用彩色CCD技术扫描晶片，然后对图像进行处理，以便进行详细的图样检查和比较。PAT-FINDER图像处理器使用明暗场照明来最大化灵敏度，自动边缘检测算法为模式比较和量化提供了统一的基线。使用HMI eScan 315,用户可以调整缺陷阈值,选择要检测的缺陷类型,并查看图像扫描以准确确定缺陷原因。该单元还具有用户定义的侦察功能,它提供了对检查过程的附加控制级别。侦察功能使用户能够轻松地快速检查各种产品缺陷。EScan 315采用了行业标准的安全功能和模块化工程设计,为用户提供了最大的灵活性和易维护性。模块化维护允许快速、方便地访问主要组件,从而减少了停机时间并节省了成本。HMI eScan 315还具有高级运动控制功能,包括多轴扫描和插值运动控制。EScan 315是晶圆和掩模检查过程的一种经济高效的工具，提供准确的缺陷检测和缺陷修复。HMI eScan 315具有强大的技术、先进的运动控制功能和模块化工程设计,是任何行业或研究机构的理想选择。这台机器提供了可靠和可重复的扫描,并提供了较小的维护和最小的停机时间,最终导致了更高的生产效率和更低的生产成本。
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