二手 HMI eScan 315 #9227591 待售

HMI eScan 315是一款具有先进技术的掩模和晶圆检测设备，为用户提供对掩模和晶圆图样的全面视觉和尺寸审查。EScan 315具有自动对准阶段、固定遮罩阶段、扫描阶段以及基于可编程LED阵列的高强度照明系统。它配备了全方位的功能，提供准确的测量和高效的缺陷审查。自动对准阶段利用压电运动和图像配准，在视场中实现掩模或晶片的关键全对准。高分辨率CMOS图像传感器提供最大分辨率高达26百万像素的清晰图像数据,确保了这些测量的准确性。固定蒙版舞台设有专用的机动蒙版翻译单元，可精确管理多个蒙版操作。它允许使用高度精确的自动图像缝合功能快速检查特征尺寸和形状,以发现更高级别的缺陷。扫描阶段配备了高级阶段，提供卓越的X-Y平移和变速旋转，真正的三维检测能力。它为无与伦比的X-Y提供了精确的平台，为掩模或晶圆特征尺寸和形状提供了角度分辨率。高强度照明机设计为产生单波长或多波长的光，允许广泛的检查模式。它具有可编程LED阵列照明功能，其光谱功率密度经过优化，以获得最佳检测结果。HMI eScan 315的功能集进一步增加了一系列分析工具,旨在揭示和精确测量基础结构,以便快速审查缺陷。这些工具包括RARE图像锐化、错误的颜色映射、对比度改进和边缘/线条分析。总体而言,eScan 315是用于自动掩码和晶圆检查的先进的最新工具。它配备了自动化对准、扫描、照明和分析的先进技术和功能，为用户提供了实现高度准确的缺陷识别的能力。