二手 HOLOGENIX NGS 3500 #9137097 待售
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ID: 9137097
Advanced dimensional metrology and defect detection system, 8"
Motorized stage with 8"x8" XY travel
Motorized Z travel
Brightfield and darkfield inspection
(5-100) defects/measurements per second typical
200mm/s staging speed
Software controlled coaxial and backlight
Maximum stage load capacity 50lbs
Granite base and Z column
Closed loop linear stages with position feedback
0.05u resolution linear glass encoder
Software: RMS Vision Systems with color graphics, image archiving, and offline review of defects
Nikon microscope with motorized objective rotation
Tilting ultrawide trinocular viewing head with 10x eyepieces
Hitachi CCTV, Windows XP.
HOLOGENIX NGS 3500是一种用于检测潜在缺陷和增强质量控制的掩模和晶圆检测设备。其主要功能是促进半导体制造工艺的质量保证。该系统利用先进的光学器件来提高检测的准确性和速度,使质量保证团队能够及时发现过程设计或生产执行中的潜在缺陷。NGS 3500利用稳定分束器和数字变焦镜头提供详细、高质量的成像。物镜用于放大图桉材料中的微观缺陷,该单元可提供从150X到500 X的可调放大范围。内置照明机以多种不同角度照亮样品,在复杂的照明条件下实现缺陷检测。该工具的实时3D成像是通过组合在不同深度拍摄的一系列图像以创建3维图像而精确构建的。此产品无需用户手动插值多个图像。因此,检查时间可以显着减少,资产可以在宏观和微观层面检测缺陷。HOLOGENIX NGS 3500具有用户友好的操作界面,无需操作员进行冗长的培训或手动干预。它在单个模型中结合了图像采集和分析功能,允许用户快速处理大量数据。此外,它还提供警报功能来检测掩模和晶圆表面条件的趋势和变化。NGS 3500是一种非常可靠的掩模和晶片检测设备,因为它不仅检测缺陷,而且提高质量控制。由于其集成的特点,该系统能够减少半导体行业的检测时间和提高工艺效率。
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