二手 HORIBA PD2-HR #9399895 待售

HORIBA PD2-HR是一种用于分析和检查通过光刻工艺制造的半导体器件的掩模和晶片检测设备。它是专门为检查常规光学技术或其他电子成像系统无法检测到的缺陷而开发的。该系统由真空室、控制台、硬件、舞台和扫描仪组成.真空室容纳硬件组件，而控制台用于输入检查参数并启动该过程。舞台容纳半导体晶圆，用于根据用户定义的检验过程移动晶圆。最后，扫描仪由电子枪和光学器件组成，将电子束聚焦在晶圆表面上。电子束有两种模式：扫描和成像.在扫描模式下，光束被栅格穿过晶片收集与表面形态有关的数据，如粒度、形状、深度和位置。在成像模式下，利用偏转线圈倾斜光束，以拍摄晶圆的高分辨率图像。PD2-HR使用超高分辨率电子显微镜来确保检测到关键缺陷。其显微镜分辨率比常规电子显微镜高出3倍，意味着先进半导体技术（20 nm节点和更薄）的缺陷可以被快速准确地检测到。此外，它的自动化计算机辅助缺陷审查单元使得它易于查看和评分潜在缺陷。该机器还具有先进的数据分析能力以及保存和存储图像和数据的能力。它还具有先进的检测算法，用于识别和分类潜在缺陷类型，包括不同类型的颗粒污染、划痕、腐蚀、断线和内存位置。最后，HORIBA PD2-HR是一种能够检测先进半导体器件微小缺陷的强大的掩模和晶圆检测工具。它具有高分辨率的电子显微镜和自动化的计算机辅助缺陷审查资产、先进的数据分析能力以及易于保存和存储图像和数据的能力。它是广泛的晶圆检测过程的理想工具。