二手 HORIBA PR-PD2 #293751087 待售

HORIBA PR-PD2
製造商
HORIBA
模型
PR-PD2
ID: 293751087
晶圆大小: 8"
Reticle / Mask particle detection system, 8".
HORIBA PR-PD2是一种高性能的掩模和晶片检测设备,旨在提高吞吐量、准确性和可追踪性。它提供了卓越的图像质量和缺陷检测功能,并结合了直观的用户界面。该系统采用一种新开发的扫描电子束(SEM)技术,能够扫描晶片从明暗,均匀度± 3%。利用3.2 GHz的扫描速度,它可以扫描多达1000个晶圆/小时,从而通过缩短检查时间来提高吞吐量。对于自动缺陷分析,设备使用高级算法来准确识别缺陷并识别任何问题。它具有使用X射线的自动芯片识别功能,能够检测晶片背面的污染,以及工艺产量分析。"Pattern Sense窗口比较"功能允许机器分析来自相似模式的数据,例如,不同位置的相同大小和方向。这样可以在现场获得更好的性能。该工具具有指导散射分析以识别表面不规则和其他缺陷的3D-profiling能力。氧化物和氮化物的自动反射率模式支持对复杂薄膜层的评价。综合软件包提供了轻松完成一系列任务所需的所有功能,如缺陷分类、分类、检查管理和数据挖掘。该软件经过专门设计,能够对4位数据结构进行全面分析,从而能够比较来自不同来源的图像。凭借其独特的功能,HORIBA PR-PD 2为制造商提供了检查设备掩码和检测各种应用程序缺陷所需的功能。它是自动晶片检验的理想工具,可帮助制造商最大限度地提高效率并降低成本。
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