二手 HSEB AXIOSPECT 300 #9202569 待售

HSEB AXIOSPECT 300是一种高速、掩模和晶片检测设备，设计用于半导体行业的晶片掩模检测，精度高，效率高。它提供全面的覆盖和临界尺寸（CD）测量服务，检测精度和可重复性为1 nm。它支持高生产吞吐量,最大基板尺寸可达300 mm。该系统配有功能强大的图形用户界面（GUI），便于访问单元操作，如用户控制、提示和标准测量。AXIOSPECT 300配备了一台先进的光学机器，设计用于在一定范围的纳米（nm）分辨率下提供精确的测量。它采用独特的双通道光学设计，在成像和非成像模式下获取晶圆掩码的图像。这使其成为评估定量和非定量特征的理想选择。该工具配备了自动聚焦资产，可自动调整模型的焦点并确保高分辨率成像。它还拥有高速晶圆跟踪设备，能够快速、方便地在内存中检测和存储晶圆信息。该系统包括可帮助简化生产时间的功能,例如自动模式识别功能以识别来自不同掩码层的模式,以及自动数据分析以快速识别掩码对齐中的任何差异。HSEB AXIOSPECT 300具有集成的数字INSPECTOR工具,具有自动调整功能,包括堆迭层分析、缺陷分析、图片覆盖和多光谱成像分析。这将有助于操作员立即诊断和排除掩码对齐中的异常。为了保证质量，该单元具有强大的SPC监控功能，可以生成有关结果准确性和可重复性的实时报告。数据也可以以各种文件格式导出,以便于与其他软件工具集成。除了这些质量保证功能外,该机器还配备了功能强大且易于使用的编辑、图形和图表生成功能,以显示最终报告。总之,AXIOSPECT 300是一种高级检查工具,旨在提供准确和可重复的结果。它配备了最先进的技术特性，帮助精简生产流程，确保最高质量保证水平。