二手 HYPERNEX XRD #9311079 待售

HYPERNEX XRD是一种先进的掩模和晶片检测设备，设计用于极精确地检查和分析缺陷。该系统使用最新的自动光学检查（AOI）技术来检查和测量极紫外线（EUV）光刻面膜、薄膜和晶片图样特征中的缺陷。利用自动光学检查,XRD能够检查尺寸不超过50 nm的特性,并具有很高的精度和速度。HYPERNEX XRD利用了分辨率极高的光学成像单元，以便对最微小的特征进行检查。它配备了自适应、多孔径成像机、无与伦比的光学分辨率、无与伦比的5 nm覆盖精度，以及超高速Reticle Scanning模式。XRD采用名为［TMP_NAME]的特殊内置软件包进行设计,它能够测量各种关键项,如图桉、缺陷大小、深度、侧桥（SB）、线缘粗糙度（LER）、网桥拐角、线宽变化和缺陷群集。它具有全自动的直列式仪表,能够提供高精度的注册和放置数据,精度为0.1 um。此外，该工具的设计是快速分析大量测量数据的高精度和稳定性。该资产具有用户友好的图形界面、强大的数据管理模型以及对多种语言的支持。此外,它还提供用于数据传输的USB和网络连接,以及用于远程控制的标准以太网和RS232/RS485连接。此外，该设备还具有控制图像曝光水平的能力，以优化缺陷检测和迭加精度，确保精确测量，无论样品变化和环境变化如何。总体而言,HYPERNEX XRD是一种高级检查和分析功能,可提供无与伦比的结果和改进的质量控制。它旨在确保对50 nm及以下尺寸的特性进行掩模和晶片特性检查的极高精度。它非常适合半导体制造,具有高度的灵活性、成本效益和可靠性。