二手 ICOS WI-2000 #9215635 待售
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ICOS WI-2000是一种用于掩模和晶圆检查的自动化设备。它使用先进的成像光学、精确的运动控制和先进的照明技术,以便在要求最苛刻的生产环境中获得最佳性能。系统配置有一个独特的200 mm活动场对齐阶段。这样,用户就可以快速准确地对齐正在检查的任何掩模或晶片。舞台还可以上下移动进行高速检查，允许最佳成像条件。WI-2000配备了两种类型的照明系统-紫外线和可见。这两种照明系统在检查各种晶圆和掩模表面结构方面提供了卓越的性能。紫外线光源提供高对比度照明,用于检测阵列或布局的任何变化。可见光源可以在检查不透明基板时提高检测灵敏度。ICOS WI-2000的成像光学和运动控制技术提供了纳米分辨率来检查到纳米级以下的掩模特征。该单元使用非接触式高分辨率（最多2 μ m像素间距的）成像来精确捕获表面图样和缺陷信息。这种先进的成像技术还允许一次对多达三个晶片进行成像，数据采集速度比常规检测系统快20倍。WI-2000具有高精度的机动化Z轴,能够在+/-10mm的范围内提高样品完整性,并在对准过程中减少样品磨损。用户可以从两种成像分辨率中进行选择：高分辨率和低分辨率。利用低分辨率成像模式，ICOS WI-2000可以在不牺牲精度的情况下高速检查布局复杂的晶圆和掩码。WI-2000是一台自动化机器，由直观的图形用户界面提供动力，便于操作和适应各种检查目标。此外,该工具支持多种接口和检查模式,允许用户根据其特定检查要求定制资产。ICOS WI-2000是精确检测口罩和晶片的理想模型。它能够用精确的电动Z轴两个照明系统快速捕捉高分辨率图像，而且使用方便。通过这些功能,WI-2000可以自定义以满足任何检查任务的特定要求并提供最佳结果。
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