二手 INTELLEMETRICS IL-510 #123172 待售

INTELLEMETRICS IL-510是一种面罩和晶片检查设备，设计用于提供精确可靠的光刻检查分析测量。这套先进的系统集成了多种先进的光学和成像技术，用于检查和识别光刻面膜和晶片中的缺陷。IL-510以每秒高达60,000张图像的速度对接触和阴影掩模进行高速光学检查,从而能够快速检测和分类缺陷。对于接触面罩，该单元配备了全自动和可编程的成像机，使用光面罩平场聚焦工具来收集图像。此资产专为快速缺陷审查和识别而设计,具有先进的高光校准功能,可确保卓越的图像质量和精度。此外，该型号具有先进的图像处理能力，可以降低图像噪声，消除背景干扰，提高整体图像对比度。对于阴影蒙版，INTELLEMETRICS IL-510配备了可编程变焦光学设备，在1微米的分辨率下提供高达1000X的卓越放大倍率。该系统还包括数字自动图像分析仪、激光线路照明单元和可编程均匀场照明等功能，用于检查掩模两侧的缺陷。此外，IL-510利用高精度对齐和计算系统来识别和评估不同类型的缺陷。这台机器能够识别随机缺陷、堵塞、针孔、峰值和NTF拍板,精度低至0.01微米。此外，INTELLEMETRICS IL-510装有高精度基准工具，用于精确对准扫描晶片。IL-510符合行业要求,如SEMI M1/M2和ESD标准。集成晶圆处理资产允许多达1000个晶圆在没有人工干预的情况下进行检查和校准。该模型还可以与现有的光刻设备和工艺控制系统相结合，以提供精确可靠的光刻面罩和晶片测量。总体而言,INTELLEMETRICS IL-510提供全自动、高速和高分辨率的掩模和晶圆检测设备,以最大限度地提高生产率并确保卓越的产品质量。