二手 INTELLEMETRICS LEP300 #9123983 待售
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INTELLEMETRICS LEP300是一种高性能的掩模和晶圆检查设备,它利用4区成像技术来检查平板显示器上与结构相关的缺陷。它旨在识别可能无法通过其他方法检测到的细微缺陷,例如在迭代模式绘制过程后出现的修改以及通过使用缺口进行的修改。该系统能够在子像素级别捕获图像数据并识别缺陷。LEP300的主要部件是高分辨率、宽带视觉相机、光源、各种分割放大倍率的镜头、光学滤镜和CCD线扫描检测器。这些相机能够产生非常高图像质量的动态图像。使用特殊的光学滤镜来帮助相机捕捉面板上的相关缺陷。摄像机还采用高级图像执行技术来提高图像质量。该单位有四个不同的区域,具有独特的检查能力。MacroZA区域检查阵列结构是否有一般缺陷和颗粒,而MicroZA区域检查缺陷大小、形状、间距和间隙宽度。DetZA区域检查可能影响光学性能的复杂缺陷,SmallZA区域检查肉眼通常看不到的小缺陷。所有这些区域结合起来,对面板进行全面检查。INTELLEMETRICS LEP300配备了精密的实时分析软件,结合了各种图像处理算法来检测和测量图像数据中的缺陷。该软件还允许在多个工作站之间快速传输数据,并允许自定义数据捕获速度。此外,机器的高级分析器功能允许检测与结构相关的缺陷,以及进行较小的修改。总体而言,LEP300是一种功能极其强大、效率极高的掩模和晶圆检测工具。其先进的4区成像技术有助于检测和测量亚像素级别的缺陷,即使在复杂的模式和修改中也能增强缺陷检测。凭借其集成的图像处理算法和复杂的数据捕获,该资产非常适合现代自动化制造操作。
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