二手 IRVINE OPTICAL 3L #9111983 待售

製造商
IRVINE OPTICAL
模型
3L
ID: 9111983
Wafer inspection system.
IRVINE OPTICAL 3L是在生产过程控制中提供复杂微电子元件无损可视化和计量的掩模和晶圆检测设备。由Irvine Optics LLC开发,是当今市场上最先进的晶圆和标线检测系统之一。凭借其软件驱动的控制、高分辨率成像和自动索引平台,3L被设计为非常用户友好和高效。其高水平的吞吐量、精确和均匀的测量以及优越的图像质量使其成为晶圆计量的理想之选。它还具有自动化的样品处理系统以及各种缺陷检测功能。IRVINE OPTICAL 3L单元可以检查和测量多种材料,包括但不限于:铝和二氧化硅晶片、硅片和光掩模。其独特的功能集包括一个集成的机器视觉机,提供实时可视化的样本;激光扫描工具,有激光功率和波长的选择;具有背景减法和26个同时彩色通道的图像采集资产;自动化样品处理模型;以及广泛的相机视野、镜头类型和激光激发源。3L还有一套完整的计量软件,集成在一个方便的软件包中。它提供了广泛的成像和测量能力,包括:二维和三维图像堆迭以创建样本的3D图像;对过程控制趋势的统计分析;粒子识别和计数;维度分析;缺陷识别;粒子搜索和分析;以及复杂的精度分析。此外,IRVINE OPTICAL 3L可以量身定制,以满足客户的具体检测需求。凭借其多种可定制选项(如各种工作流工程、设备配置和数据分析功能),系统可以适应各个需求,从而确保经济高效的解决方桉。总体而言,3L为用户提供了当今市场上最先进的面膜和晶圆检测装置。其特点与人性化操作相结合,使其成为精密检测和计量的理想选择。凭借其集成的机器视觉、自动化的样品处理以及灵活的软件可定制功能,它是广泛的过程控制和无损计量应用的完美机器。
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