二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2 #9157323 待售

IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2
ID: 9157323
晶圆大小: 6"
Wafer inspection system, 6" NIKON BD Plan optics Trinocular head.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2,是一种用于半导体制造工艺的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统提供了一个有效的工具来处理具有挑战性的蒙版图样在先进的光刻。它还可以在分析随机缺陷位置(包括边缘缺陷)时很好地工作。Ultrastation 3B具有电动xy级,最大行程为200 um × 200 mm,可提供高精度。舞台的任务是提供视频速率精度、平滑运动和精确定位。该单元还包括一个增强的自动对齐软件,它提供了更快的工具,从而进一步缩短了与工具设置过程相关的停机时间。Ultrastation 3 B利用亮场照明器为掩模和晶片的边缘检查提供卓越的可见度。Ultrastation 3B以其明亮的照明与优化的电信机相结合,具有检测高分辨率低级缺陷的能力。该机具有高达每秒19帧的图像捕获速率,以实现卓越的图像采集质量。此外,该工具的相机还集成了3D自适应光学元件,可增强成像效果。Ultrastation 3B还包括用于掩码和晶圆处理的双轴转移机器人。机器人利用运输臂,包括一个自动芯片捕获单元。芯片捕获单元具有快速定位目标和捕获掩码或晶片而不损坏边缘或芯片本身的功能。IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3.B MODEL 2是一种高度精密和高效的掩模和晶圆检测资产。它结合了最新技术,提供了一台全面、高质量的机器,在面膜和晶圆检测方面引领行业发展。Ultrastation 3B完全可定制,为各种晶圆图样检测需求提供了全面的解决方桉。这一模式是半导体专业人士的选择,在未来几年里肯定会成为晶圆型式检测系统中的顶级、经济高效、可靠的选择。
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