二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation #293792555 待售

IRVINE OPTICAL Ultrastation是一款先进的掩模和晶圆检测设备，其设计目的是在缺陷密度低、精度、可重复性和吞吐量方面提供优异的效果。该系统非常适合晶圆和标线检查、表面和界面分析以及微电子过程评估中的自动光学检查和计量需要。Ultrastation具有先进的光学设计,可提供卓越的成像和亮场照明。该单元配备了高精度的机械和光学级，能够在X、Y和Z方向上精确移动。这项先进的技术使它能够为每个测量提供高度准确和可重复的配置文件。该机器还包括一个用于捕捉所有类型的掩模和晶片图像的高分辨率相机，以及一个用于表面、应变和薄膜厚度测量的红外敏感检测相机。为确保最大精度,IRVINE OPTICAL Ultrastation采用了高精度对准工具。此资产有助于调整检查设备,并确保在整个分析过程中正确关注。此外,Ultrastation还使用QuadLight反照率轮廓工具进行设计,以测量光刻结构,准确识别潜在的错误,并快速解决任何不规则性。IRVINE OPTICAL Ultrastation还利用先进的软件来确保每个分析都符合最高质量标准。STORM软件套件在Windows平台上运行,为用户提供了一个易于使用的界面,用于测量、成像和分析示例图像。分析功能包括自动表检测、网格定义、元素区域定义、边缘检测、孤岛分析、剖面线分析、相位分离分析和层移分析。除此之外，Ultrastation还配备了独特的空间相位分析技术，帮助避免需要昂贵的多阶段，并允许实时识别光刻场、线条、圆圈等特征。简而言之，IRVINE OPTICAL Ultrastation是一个通用的模型，为用户提供了一套全面的功能，以优化晶圆和掩模的检查和分析。