二手 J-MAR S2610-01-01 #9211242 待售

J-MAR S2610-01-01是半导体工业中使用的高精度掩模和晶圆检测设备。该系统利用先进的光学、激光和基于软件的自动化检测技术，准确测量和准确检测硅片、掩模、互连等多种先进材料中的缺陷。该单元配备了多种传感器，包括1024 x 1024分辨率的微观CCD相机。这款高分辨率相机让操作员甚至可以检测到最小的表面缺陷到纳米尺度。此外，还包括一台0.05微米光斑尺寸的并联共焦激光机，用于高度精确的测量。该工具还采用了一种称为激光光束剥离（LBS）的专有光学技术，该技术甚至可以检测薄至0.1微米的材料最薄层。该资产由一个名为WIP控制模型（WIPCS）的定制软件包供电。此软件为用户提供了强大而准确的缺陷检测功能,包括阵列匹配、3D形状分析和最佳拟合分析。这保证了即使是最精密的工艺，如电子摄影（E-beam）和先进的光刻，也能得到准确有效的监控。结合先进的光学和传感技术，S2610-01-01设备还配备了先进的自动化过程控制功能。这些功能确保所有流程都能可靠地、高效地运行。这些功能的受控自动化和集成可以降低运营成本并提高流程产量。最后,该系统附带了一套数据分析软件,用于详细评估缺陷监控、特征测量和其他关键过程变量。此分析确保了最高质量的产品输出和最高的效率。综上所述，J-MAR S2610-01-01是一种结合先进光学、激光和基于软件的自动化检测技术来检测和精确测量纳米级缺陷的高科技掩模和晶圆检测装置。它还配备了过程控制功能和数据分析软件，以实现产品的最佳输出。这台机器非常适合电子光束和先进光刻等先进工艺。