二手 JEOL JBX-9300FSZ #9236559 待售

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ID: 9236559
E-Beam lithography system Cassette loader and control computer Power racks and HV tank Manuals and schematics Gaussian spot electron beam: 4nm diameter Accelerating voltage: 50 kV / 100 kV Current range: 50 pA - 100 nA Scan speed: 50 MHz Vertical range automatic focus: ±100 µm Vertical range manual focus: ± 2 mm ZrO With thermal field emission source Vector scan for beam deflection Maximum 300 mm (12") wafers with 9" of writing area Line width writing at 100 kV: < 20 nm Field stitching accuracy at 100 kV: < 20 nm Overlay accuracy at 100 kV: < 25 nm.
JEOL JBX-9300FSZ是一种扫描电子显微镜(SEM),为研究人员提供高性能成像和分析能力。此工具将提供高分辨率的时间或横截面成像,以及出色的元素分析功能,如自动化样品处理设备和高分辨率光学器件。JEOL JBX 9300FSZ的关键部件包括高分辨率带电粒子光学柱、高灵敏度二次电子探测器、自动化样品处理系统和聚焦离子束(FIB)。光学柱的最大分辨率为0.4纳米,动态聚焦可降至0.1纳米,用户可以对任何样品进行细粒度图像和元素分析。二次电子探测器能够检测能量范围从0.1V到30kV的电子,让用户获得样品的高分辨率图像。自动化样品处理单元允许样品的自动装卸,以及电子束的自动定心和校准。JBX-9300FSZ还包括一个能够扫描每秒10毫米的高速扫描阶段、各种各样的极化探测器、一个冷冻探针和一系列样品持有者。冷冻探针使用户能够在低至-247 °C的温度下对样品进行成像,而样品持有者将保存尺寸从1 x 1 mm到150 x 150 mm不等的样品。扫描级还具有真空兼容连接器,以便于集成用于气体分析的提取模型。JBX 9300FSZ还提供各种用于分析和图像处理的软件包。这些软件包包括用于图像分析和测量的软件包,以及用于三维重建的软件包。这些程序提供高级特征提取和分割工具,以及复杂的图形和数字数据可视化。总体而言,JEOL JBX-9300FSZ是一种出色的扫描电子显微镜,具有先进的成像和分析能力。其广泛的特点使其成为高分辨率成像和复杂样品分析的理想选择。这些特性,加上其令人印象深刻的分辨率和自动化的样品处理机,使得它成为任何希望获得高分辨率图像和元素信息的研究者的理想选择。
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