二手 K-MAC SpectraThick #9134199 待售
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K-MAC SpectraThick是一种先进的掩模和晶圆检测设备,能够高精度检测缺陷。其独特的设计使其能够应用于掩模和晶圆水平以及不同类型的光刻。系统使用光谱成像技术检查缺陷,提供精确连续的扫描。检查由激光束完成,该激光束沿着掩模或晶片进行引导,以检测透射或反射缺陷。激光光束配有特殊的波长选择单元,用于检测各种缺陷。激光还能够测量光束的透射或反射,并根据通过掩模或晶片移动的材料的吸收和反射特性来识别材料。SpectraThick机器还采用多种算法进一步提高结果的准确性。这些算法处理传入的数据并检测各种缺陷,如明暗斑点、具有多个散射中心的缺陷、收缩和膨胀、线路缺陷和光学吸收。在缺陷的情况下,确定缺陷的精确位置和大小。K-MAC SpectraThick还提供了广泛的选项来调整设置,例如扫描区域或缺陷检测阈值,以及不同类型数据的统计分析和报告功能。该工具具有高度可配置和灵活性,支持手动和自动操作,允许用户根据检查任务定制资产。它的高级功能使用户能够纳入超出检查范围的附加功能,例如缺陷分类和特性描述。总体而言,SpectraThick为掩模和晶圆检测提供了一个坚固、精密和精确的检测模型。它具有高质量、准确性和灵活性,是各种应用的理想解决方桉。
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